托这个单位究竟衡量什么物理量托(Torr)是真空技术领域常用的压力单位，1托定义为1毫米汞柱(mmHg)在标准重力下产生的压强，相当于133.322帕斯卡。这个单位得名于17世纪发明气压计的意大利科学家托里拆利(Evangelista T

托这个单位究竟衡量什么物理量

托(Torr)是真空技术领域常用的压力单位，1托定义为1毫米汞柱(mmHg)在标准重力下产生的压强，相当于133.322帕斯卡。这个单位得名于17世纪发明气压计的意大利科学家托里拆利(Evangelista Torricelli)，主要用于中低真空范围的压强测量，尤其在气相沉积、真空镀膜等工业场景中广泛应用。

托单位的物理定义与演变

原始定义源于托里拆利在1644年进行的水银柱实验，当时他观察到标准大气压能支撑约760毫米高的水银柱。随着国际单位制的推广，1967年国际计量大会重新将1托定义为1/760标准大气压，使其与帕斯卡建立了精确换算关系。值得注意的是，虽然托与毫米汞柱数值相等，但两者在严格定义上有细微差异。

与其他压力单位的换算关系

1标准大气压=760托=101325帕斯卡，在0℃时1托≈133.322帕斯卡。实际应用中常采用近似换算：1毫巴(mbar)=0.750062托，而1磅每平方英寸(psi)≈51.715托。这些换算关系在真空系统设计中需要特别注意，尤其在进行跨国设备参数对标时。

现代应用场景与技术局限

半导体制造中化学气相沉积(CVD)工艺通常在1-10托范围工作，这个压力区间既能保证足够的气体分子密度，又可维持必要的平均自由程。但值得注意的是，随着真空测量技术发展，国际标准化组织建议逐步过渡到帕斯卡单位，因为基于汞柱的原始定义存在重力加速度和环境温度依赖性问题。

为什么特定行业仍坚持使用托

真空工程领域保留托单位主要源于历史惯性，许多设备标度盘和行业标准文件仍沿用这个单位。特别在北美地区，真空规校准证书普遍采用托作为默认单位，转换单位可能导致0.5%左右的系统误差。此外，工艺配方中的经验参数（如"23托时沉积速率最佳"）也强化了该单位的使用黏性。

Q&A常见问题

托与毫米汞柱是否完全等同

虽然数值相同，但严格来说1托=1mmHg×重力加速度/标准重力，在非标准重力环境下会产生约0.003%的偏差。高精度测量时需要修正这个系统误差。

未来托单位会被彻底淘汰吗

短期内不会完全淘汰，但呈现明显下降趋势。根据2023年真空学会调查，45%的新设备已采用帕斯卡为主单位，但在传统制造领域和学术文献中，托仍是首选单位。

如何正确选择压力单位制

建议遵循三个原则：与既有设备保持一致、符合行业规范惯例、考虑国际交流需求。科研论文推荐使用SI单位，而设备维护手册可采用工程常用单位。